Applicazione di tubi in acciaio inossidabile nell'industria dei semiconduttori I tubi in acciaio inossidabile, in particolare i tubi in acciaio inossidabile senza saldatura ad elevata purezza (316L, 316L EP, BA), sono un materiale di base chiave indispensabile negli impianti di produzione di semiconduttori (Fab), svolgendo le principali...
Applicazione di tubi in acciaio inossidabile nell'industria dei semiconduttori
I tubi in acciaio inossidabile, in particolare i tubi in acciaio inossidabile senza saldatura di elevata purezza (316L, 316L EP, BA), sono un materiale di base fondamentale e indispensabile negli impianti di produzione di semiconduttori (Fabs), che svolgono principalmente compiti di trasporto di gas ultrapuri, sostanze chimiche e acqua ultrapura.
La produzione di chip semiconduttori è estremamente sensibile alla contaminazione:
1. Inquinamento da particelle
2. Contaminazione dei metalli
3. Inquinamento da umidità
4.Contaminazione da sostanza organica (TOC)
Anche le impurità a livello nanometrico possono portare al guasto dell'intero wafer.
Pertanto il sistema dei trasporti deve avere:
1. Purezza ultraelevata
2. Emissione estremamente bassa di impurità
3. Resistenza alla corrosione
4. Nessuna formazione di particelle
5.La capacità di svolgere un lavoro stabile a lungo termine
E i tubi in acciaio inossidabile 316L elettrolucidati (EP) sono ora la soluzione tradizionale.
Principali scenari applicativi:
1.Sistemi di fornitura di gas speciali
2. Sistemi di acqua ultrapura
3. Sistemi di approvvigionamento chimico
4.Sistemi del vuoto
Standard per tubi in acciaio inossidabile ampiamente utilizzati nell'industria dei semiconduttori
| Nome | Norma |
| Materiale | 316L |
| Norma | ASTM A269 |
| Standard di purezza ultra elevato | SEMIF20 |
| Trattamento superficiale | BA, EP |
| Rugosità | Ra ≤ 0,25 µm |
| Metodo di saldatura | Saldatura orbitale |
| Classe di pulizia | Classe 100/ISO5 |
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